?退火爐的分類及特點(diǎn)

退火爐是一種用于制造半導(dǎo)體器件的過程，包括加熱多個(gè)影響其電氣性能的半導(dǎo)體晶片。根據(jù)不同的效果設(shè)計(jì)了熱處理。晶片可加熱激活摻合劑，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化為晶片襯底界面，使密集沉積膜改變生長膜狀態(tài)，修復(fù)注入損傷，挪動(dòng)摻合劑或?qū)胶蟿囊荒まD(zhuǎn)化為另一膜或從膜轉(zhuǎn)化為晶圓襯底。

退火爐可集成到空氣氧化到其它爐灶處理步驟中，也可自行處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是一種采用纖維結(jié)構(gòu)、節(jié)電60%的節(jié)能型周期性作業(yè)爐。

用途

本系列臥式真空退火爐主要適用于特種纖維、不銹鋼板、硒鋼片鐵芯、貴金屬零部件、銀銅復(fù)合鉚釘及片件的真空退火處理。

設(shè)備特點(diǎn)

1、本設(shè)備專用于小零件等在真空環(huán)境下的退火。

2、爐罐密封性能好，合理有效的避免了工件在退火處理里的高溫氧化、腐蝕生銹，增強(qiáng)了處理質(zhì)量。

3、保溫爐體可往后挪動(dòng)，退火完成后，在維持真空環(huán)境下提升冷卻速度。

井式真空退火爐

采用預(yù)真空包裝氣體保護(hù)的井式真空退火爐系列產(chǎn)品。在操作過程中，先將爐子抽到一定的真空度，然后將高純氮或氨分解氣體填充到爐子中進(jìn)行保護(hù)和加熱，從而達(dá)到?jīng)]有空氣氧化和加熱的目的。由于攪拌風(fēng)機(jī)的使用，該爐具有較高的爐溫均勻性。設(shè)備主要適用于機(jī)械零件、硅鋼片、銅材、紫銅、線材等的無空氣氧化光亮退火。

設(shè)備特點(diǎn)

1、加熱元件均布爐膛內(nèi)，分布情況合理。

2、爐蓋可配有熱風(fēng)循環(huán)設(shè)備，能夠讓爐罐內(nèi)的氣體及環(huán)境溫度均勻分布。

3、可配真空泵抽出氣體，增多通氣速率，氣體更加純凈，無雜質(zhì)。

4、有保護(hù)氣體，經(jīng)退火后產(chǎn)品無空氣氧化，清除生產(chǎn)加工壓力，提升鐵心磁性能，減少鐵損。

5、爐溫控制采用PID自動(dòng)調(diào)功平滑控溫。